外部離子真空計真空控制系統

      如下圖外部離子真空計真空控制系統，采用了具有獨特配置的ALICAT單閥壓力控制器（即外部離子真空計真空控制器）。此款控制器專為真空鍍膜行業而制造。
      ALICAT獨特的創新，使壓力傳感器具有極低的量程范圍，從而可以控制鍍膜室的極高真空狀況。
      真空控制器可以實現快速控制，主要基于離子真空計的傳感器所提供的0~10V線性壓力輸出?？刂破骺山邮沾诵盘?，用于控制鍍膜室的極高真空狀況。

      在上述應用中，0~10V信號對應了0~0.5Torr的極高真空?？刂破骼秒x子真空計提供的此信號，可精確控制鍍膜室的極高真空狀況。
      通過本地模擬信號或RS232通信，可方便地設置控制器的設定點。
      真空控制器上游的質量流量計不受下游真空影響，可以精確測量質量流量、體積流量和流入真空室的氣體的累積質量。
      如有問題，請聯系銷售工程師，討論您的系統應用情況。