快速泄露檢測需要一個快速、精確、可靠的解決方案，為此ALICAT提供了以下方案：使用M系列質量流量計準確地計算泄漏率，使用PC3系列異形壓力控制器提供工況所需求的壓力。
      ALICAT M系列質量流量計的最小量程為0.5SCCM，量程比為100:1，這說明它能準確測量的最小流量可達0.005SCCM。
      如下圖所示，待測設備（DUT）入口的壓力受控，當針閥保持開啟狀態，壓力控制器能精確地保持DUT入口的壓力，以確保在旁通閥關閉后，任何通過流量計的流量均取決于DUT的泄露或體積冷卻。當待測設備中的介質溫度為常數，流量計的流量即為DUT的泄漏率。減少流量計和待測設備之間的死區體積，或減少待測設備自身體積，都會減小溫度變化帶來的影響，加快泄露檢測過程。
      注意：以上方案不適合泄露幾乎為零的大容積設備，因為體積較大時由溫度變化所產生的實際流量大于實際漏測率。同樣，溫度變化會引起壓降，從而影響泄露檢測。